熱原子層沉積技術(shù)，面積可達(dá) 37 平方厘米

大尺寸臺式熱原子層沉積系統(tǒng)

· 37 平方厘米邊的面板用鋁制腔體(Gen2型)

· 適用于8片六英寸晶圓或4片八英寸晶圓，且具有很好的均勻性(其他晶圓尺寸可以定制)

· 加熱式4端口前體管路(可定制)

· 采用內(nèi)置高功率線圈加熱器進(jìn)行腔室加熱，最高溫度可達(dá)275°C

· 集直接控制與遠(yuǎn)程筆記本控制功能于一體的 PLC/人機(jī)界面系統(tǒng)

· 具有MFC集成腔室關(guān)閉閥的快速響應(yīng)情性氣體吹掃流量控制裝置，適用于高暴露(靜態(tài))生長模式選項(xiàng)

· 所有為符合半導(dǎo)體S2標(biāo)準(zhǔn)和NFPA-79準(zhǔn)則要求而進(jìn)行的硬件及軟件方面的更新

· 符合半導(dǎo)體S2標(biāo)準(zhǔn)

· 額外的緩慢降泵選項(xiàng)

· 可選的前驅(qū)體溫度檢測，具有實(shí)時(shí)反饋和脈沖持續(xù)時(shí)間控制功能

· 可選的可燃?xì)怏w罐重量追蹤功能，搭配內(nèi)置液晶顯示屏使用

ALD 設(shè)備的工作原理

 原子層沉積(ALD)系統(tǒng)由幾個核心組件構(gòu)成:前驅(qū)體源及其反應(yīng)物閥門、帶有溫度控制平臺(或夾具)的反應(yīng)腔、惰性氣體以及真空系統(tǒng)(或吹掃系統(tǒng))。該過程會交替進(jìn)行前驅(qū)體和反應(yīng)物的引入，每次只引入一種，其間會有一個吹掃步驟。這樣可以防止前驅(qū)體在氣相中發(fā)生反應(yīng)，從而確保僅進(jìn)行表面特定的反應(yīng)。其結(jié)果是每個循環(huán)中形成一層單分子沉積，從而在原子尺度上實(shí)現(xiàn)了對薄膜生長的控制。該反應(yīng)具有自限性，這意味著一旦前驅(qū)體與表面發(fā)生反應(yīng)并填充了可用的活性位點(diǎn)(對于氧化物、羥基等)，反應(yīng)就無法再繼續(xù)進(jìn)行。

 安瑞克技術(shù)公司開發(fā)的臺式原子層沉積系統(tǒng)操作簡便、易于維護(hù)，具備優(yōu)良的散熱管理功能、可定制的等離子體源以及軟件驅(qū)動的自動化功能，能夠支持熱增強(qiáng)型和等離子體增強(qiáng)型原子層沉積工藝。這些工具具有可擴(kuò)展性--從與手套箱兼容的實(shí)驗(yàn)臺設(shè)備到完整的 12英寸晶圓系統(tǒng)--并且經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)最高的工藝穩(wěn)定性、易用性，并能融入各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

應(yīng)用領(lǐng)域

安瑞克技術(shù)公司ALD 技術(shù)是下一代半導(dǎo)體、儲能設(shè)備、光電子器件以及生物相容性材料發(fā)展的重要基礎(chǔ)。其能夠?qū){米結(jié)構(gòu)進(jìn)行均勻覆蓋的特性使其在以下領(lǐng)域中至關(guān)重要:

· 用于柵極介電層和阻擋層的微電子學(xué)及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)

· 用于電極和電解質(zhì)涂層的固態(tài)電池和超級電容器

· 光柵、透鏡和光子結(jié)構(gòu)上的光學(xué)涂層

· 催化作用與燃料電池的開發(fā)，其中原子層沉積技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)可控的表面改性

· 需要具有耐腐蝕性且生物惰性的薄膜的生物醫(yī)學(xué)設(shè)備

· 易降解材料的表面鈍化與封裝處理

隨著該行業(yè)朝著更小、更快、更高效的設(shè)備方向發(fā)展，原子層沉積技術(shù)的重要性也與日俱增。