AT650T可在用戶現(xiàn)場升級為AT650P

技術(shù)參數(shù)：

l 高達400°C

l 具有高頻率射頻的空心陰極

l 金屬密封線降低了大氣污染的風(fēng)險

l 前體加熱至185°C（帶選擇性增壓）

l 4前體和多達4個有選項的共反應(yīng)物

l 可選:手套箱界面或加載鎖定

l 高達6英寸或更高的基板

l 靜態(tài)處理模式下可實現(xiàn)高曝光

選項：

l 定制卡盤/鍍層

l QCM(石英晶體微天平)

l 為您的瓶子設(shè)計氣泡器

l 負載鎖(或手套箱接口)

l 共反應(yīng)器線(MFC控制)(最多可增加2條)

l 額外加熱前體管線至185攝氏度，共4條。定制系統(tǒng)-請咨詢我們

客戶案例：

全球100多家用戶，多家重復(fù)購買的用戶：

哈佛大學(xué)

赫爾辛基大學(xué)（Professor Mikko Ritala and Matti Putkonen）

泛林集團 (LAM) （3臺以上）

牛津大學(xué)（2臺以上， Prof Sebastian Bonilla）

國立材料科學(xué)研究所(日本，多臺)

東京大學(xué)(多臺)

早稻田大學(xué)(多臺)

西北大學(xué)(美國)

劍橋大學(xué)(英國)

萊斯大學(xué)

英屬哥倫比亞大學(xué)(加拿大)

ENS-Paris(法國、高等師范學(xué)院)

北京量子研究院

北京大學(xué)

布里斯托大學(xué)（英國）

謝菲爾德大學(xué)等等

重復(fù)購買客戶的具體運用：

1.  早稻田大學(xué) (Waseda University) (日本東京) - 傳感器、表面改性、納米壓印光刻、先進通孔制造 (AIST) – 日本茨城縣

2.  早稻田大學(xué) (Waseda University) (日本東京) – 系統(tǒng) #2；類似應(yīng)用。日本神奈川縣橫濱國立大學(xué) (Yokohama National University)

13. 國立材料科學(xué)研究所 (NIMS) #1 (日本茨城縣) - 表面和薄膜中的聲子；原子尺度低維等離激元學(xué)；納米材料中的自旋軌道分裂

14. 國立材料科學(xué)研究所 (NIMS) #2 (日本茨城縣) - 碳納米管中的自旋相關(guān)輸運；納米間隙制造和分子輸運；石墨烯中的帶隙工程；有機晶體管

21. 私人公司 (Private Company) (美國俄勒岡州波特蘭) - TEM 樣品制備；HfO2, Al2O3, Ta2O5

22. Precision TEM (美國加利福尼亞州圣克拉拉) - TEM 樣品制備；HfO2, Al2O3

43. 私人公司 TK (Private Company TK) (日本宮城縣) - TEM 樣品制備

44. 私人公司 (Private Company) (美國俄勒岡州波特蘭) - TEM 樣品制備；HfO2, Al2O3, Ta2O5

45. 東京大學(xué) (University of Tokyo) (日本) – 先進 ALD 工藝

93. 東京大學(xué) (University of Tokyo) – 日本東京 – Dr. Onaya

91. 泛林集團 (LAM Research) – 美國俄勒岡州圖瓦拉丁 (Tualatin)

97. 泛林集團 (LAM) 系統(tǒng) #2 – 美國俄勒岡州圖瓦拉丁

98. 泛林集團 (LAM) 系統(tǒng) #3 – 美國俄勒岡州圖瓦拉丁

99. 牛津大學(xué) (University of Oxford) – 英國牛津 - Prof Sebastian Bonilla

100. 德島大學(xué) (Tokushima University) (日本)

101. 赫爾辛基大學(xué) (University of Helsinki) (芬蘭) Professor Mikko Ritala and Matti Putkonen

102. 應(yīng)用材料公司 (AMAT - Applied Materials) – 美國

103. 牛津大學(xué) (University of Oxford) (英國牛津)